Вернуться к списку оборудования

Комплекс для подготовки проб для изучения методами электронной микроскопии [2853-2011]


Краткое название: ПР104_HREMSMPLPREP
Тип: Комплексы научного оборудования
Подразделение: Кафедра физической химии
Начало эксплуатации: дата не указана
Идентификатор: 9351630
Технические характеристики: Ускоряющее напряжение ионной пушки: варьируемое, как минимум 1-6 кВ (шаг изменения не более 0.5 кВ). Максимальный размер утоняемого образца: длина 3 мм, ширина 0.55 мм, толщина 0.11 мм. Тип газа, используемый в источнике ионов: аргон. Минимальный диапазон углов качения пучка ионов аргона: до 6 градусов в обоих направлениях от нулевой позиции с шагом не более 0.1 градуса. Скорость ионного травления при 8 кВ на Si: не менее 5 мкм/мин. Диаметр пучка (ширина на полувысоте): не хуже 350 мкм Вакуумная система: турбомолекулярный насос, ротационный насос. Варьирование геометрических размеров пробы: прецизионный отрезной станок, крио-ультрамикротом. Скорость изменения вращение отрезного диска на отрезном прецизионном станке: 0-300 оборотов в минуту. Точность позиционирования образца на отрезном прецизионном станке: 0.1 мм. Охлаждения отрезного диска на отрезном прецизионном станке: пассивное в ёмкости с охлаждающей жидкостью. Устройство для грубой полировки образца: алмазная полировальная поверхность. Контроль пробы на отрезном прецизионном станке и при ультрамикротомирповании: в ручном режиме при стереомикроскопировании.
Расписание:

с.н.с. Савилов С.В.,
33-21, 649-08-85, savilov@chem.msu.ru
Адрес:

Москва, Ленинские горы, д.1, стр.10, П-08, П-11
Список ответственных за данное оборудование: В состав комплекса входит следующее оборудование:
Тип Название
Другие типы оборудования (указать какие именно) Комплекс для подготовки проб для изучения методами электронной микроскопии

Прикрепленные файлы

№ Имя Описание Имя файла Размер Добавлен
1. Иллюстрация FB69ECB2-2762-4A30-B035-6E090B9FB312.jpeg 3,9 МБ 6 апреля 2022 [savilov]

Научные работы: