Установка РДЕ-300Т Краткое название: Установка РДЕ-300Т Тип: Комплексы научного оборудования Подразделение: Отдел микроэлектроники Начало эксплуатации: 1 января 1989 Идентификатор: 60034047

---

Технические характеристики: Тип: уникальное научное оборудование. Установка плазмо-химического травлени RIE-300. В состав входит лазерный интерферометр предназначенный для определения скорости и точки окончания процесса Остаточный вакуум - 10-5 мбар ВЧ генератор 13,56 МГц, Максимальная мощность ВЧ 300 Вт Травление материалов: Ge, Si, SiO2, Si3N4, SiON, SiC и др. Максимальная скорость травления нитрида кремния - 100 нм/мин Расписание: Пн-Пт с 10.00 до 17:00 по предварительной записи Адрес: Ленинские горы д.1, стр.2, Физический факультет МГУ, к. ц.33б

Список ответственных за данное оборудование:

• Ответственный за эксплуатацию, Преснов Денис Евгеньевич, тел. 3988

В состав комплекса входит следующее оборудование:

Тип	Название
Комплексы научного оборудования	Уст-ка Мультисем-440

Научные работы: