Вернуться к списку оборудования

Установка совмещения и экспонирования SUSS Microtec M4


Краткое название: SUSS M4
Тип: Комплексы научного оборудования / Комплексы литографии
Подразделение: Лаборатория детекторных систем и электроники
Начало эксплуатации: 1 ноября 2004
Идентификатор: 60030018
Технические характеристики:
Адрес:

Передана во временное пользование НИИ Материаловедения г.Зеленоград
Список ответственных за данное оборудование: В состав комплекса входит следующее оборудование:
Тип Название
Записей нет

Научные работы: