Вернуться к списку оборудования

Установка для осаждения прозрачных проводящих оксидов методом ультразвукового спрей-пиролиза, в том числе с применением электростатического поля


Краткое название: Установка Пиросол-ЭС
Тип: Комплексы научного оборудования
Подразделение: Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Начало эксплуатации: 15 декабря 2010
Идентификатор: 56925318

Технические характеристики: а) Осаждение оксидов металлов In, Sn, Zn. б) Рабочие газы Ar, O2, N2. в) Контроль толщины пленок оксидов. г) Возможность использование электростатического поля в процессе осаждения.
Адрес:

к. 19-22 Главного здания (строение 1)

Список ответственных за данное оборудование: В состав комплекса входит следующее оборудование:
Тип Название
Записей нет

Научные работы: