Комплекс микроанализа наноструктурированных образцов на основе сканирующего электронного микроскопа LEO 1430 vp с приставкой для рентгеновского элементного анализа INCA (Oxford) Краткое название: Комплекс микроанализа Тип: Комплексы научного оборудования Подразделение: Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии Начало эксплуатации: 31 декабря 2003 Идентификатор: 56924468

---

Технические характеристики: Микроанализ поверхности наноструктурированных образцов с определением элементного состава ключевых элементов структуры. Сканирующий электронный микроскоп с приставкой для совмещенного с растровым изображением рентгеновского элементного анализа (XRF). Пространственное разрешение 5 – 10 нм, точность определения элемента вплоть до монослоя. Адрес: к. 6-13 Корпуса Нелинейной Оптики (строение 62)

Список ответственных за данное оборудование:

• Ответственный за информацию, Тимофеев Михаил Аркадьевич,
• Ответственный за эксплуатацию, Тимофеев Михаил Аркадьевич,

В состав комплекса входит следующее оборудование:

Тип	Название
Записей нет

Научные работы: