Высоковакуумная напылительная установка Входит в состав Ускорительный комплекс на энергии до 500 кэВ Тип: Камеры, лаборатории, станции / Камеры Подразделение: Лаборатория ионно-пучковых нанотехнологий Начало эксплуатации: дата не указана Идентификатор: 383415313

---

Технические характеристики: Расписание(комплекс): http://beam.sinp.msu.ru/

Список зарегистрированных ответственных за оборудование комплекса:

• Научный руководитель, Черныш Владимир Савельевич, тел. (495) 939 29 89
• Ответственный за эксплуатацию, Балакшин Юрий Викторович,
• Ответственный за эксплуатацию, Назаров Антон Викторович,
• Ответственный за эксплуатацию, Евсеев Александр Павлович,
• Научный руководитель, Шемухин Андрей Александрович,