Технические характеристики: |
Базовая вакуумная установка с фронтальной загрузочной дверью, для легирования тонких пленок, имплантации ионов и создания наноструктурированных металлических покрытий:
1. Объем основной камеры - 0.36 м3
2. Шлюзовая система загрузки образцов
3. Размер загружаемого образца - 210 х 294 мм
4. Объем шлюзовой камеры - 0.03 м3
5. Автоматический регулируемый затвор с контроллером для автоматического поддержания давления в рабочей камере
6. Диапазон регулирования давления - от 1*10-4 до 0.1 Тор
7. Безмасляный форвакуумный насос
8. Производительность - 100м3/ч
9. Турбомолекулярный насос
10. Производительность - 2000м3/ч
11. Безмасляный вакуумный пост с турбомолекулярным и полностью герметичнымы спиральнымы насосами для откачки загрузочной камеры
12. Производительность - 300 л/с
Блок для осаждения алмазных кластеров:
1. Водоохлаждаемая герметичная камера
2. Объем камеры - 0,1 м3
3. Расположение двери - Фронтальное
4. Материал камеры - Нержавеющая сталь
5. Смотровое окно с заслонкой с диаметром 100 мм - 1 шт.
6. Водоохлаждаемый электрод с изоляционной оболочкой
7. Расположение - На верхней стенке камеры
8. Перемещение электрода в осевом направлении - 100 мм
9. Нагревательный стол
10. Температура - 750 °С
11. Диаметр столика - 100 мм
|
Адрес: |
119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 35, комната 2-29; д. 1, стр. 2, комната Ц-60; д. 1, стр. 19, Лаборатория №2.
|