Растровая электронная микроскопия многослойных структур в обратноотраженных электронахдиссертация
-
Научный руководитель:
Рау Э.И.
-
Автор:
Дремова Надежда Николаевна
-
Дата защиты:
14 июня 1996 года
-
Шифр диссертационного совета:
К. 003.90.01
-
Организация:
Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН
-
Область знаний:
Физика и математика
-
Специальность:
05.27.01 - Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
-
Тип диссертации:
Кандидатская
-
Добавил в систему:
Рау Эдуард Иванович