|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Растровая электронная микроскопия многослойных структур в обратноотраженных электронахдиссертация
- Научный руководитель: Рау Э.И.
- Автор: Дремова Надежда Николаевна
- Дата защиты: 14 июня 1996 года
- Шифр диссертационного совета: К. 003.90.01
- Организация: Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН
- Область знаний: Физика и математика
- Специальность: 05.27.01 - Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
- Тип диссертации: Кандидатская
- Добавил в систему: Рау Эдуард Иванович