|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
РАЗРАБОТКА ОСНОВ ТЕХНОЛОГИИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОНКОПЛЁНОЧНОЙ МИШЕНИ ПИРОЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКОГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ ИНФРАКРАСНОГО ИЗОБРАЖЕНИЯ НА ОСНОВЕ ДИФЕНИЛ-2,2',4,4'-ТЕТРААМИНАдиссертация
- Научный руководитель: КОЗЛОВ В.В.
- Автор: Зорин Сергей Михайлович
- Дата защиты: 15 декабря 2016 года в 16:00
- Шифр диссертационного совета: Д 212.132.06
- Организация: Национальный исследовательский технологический университет МИСиС
- Область знаний: Технические науки
- Специальность: 05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
- Тип диссертации: Кандидатская
-
Аннотация:
Важным практическим применением диссертации являются разработанные основы технологии многослойных тонкоплёночных структур мишени с системой сквозных микроотверстий размером до 1,8 мкм на основе пиpoэлeктpичecких пленок ДФТА, обеспечивающие поглощение ИК-излучения в диапазоне =8÷14 мкм. Разработано 11 вариантов топологии, соответствующих комплектов фотошаблонов и технологических маршрутов, размер ЧЭ составлял от 16 мкм до 35 мкм.
- Добавил в систему: Козлов Владимир Валентинович