|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Разработка полировальных материалов на основе полиэфируретанов для химико-механической планаризации диэлектрических слоев полупроводниковых пластиндиссертация
- Научный руководитель: Бокова Елена Сергеевна
- Автор: Терашкевич Дмитрий Игоревич
- Дата защиты: 7 декабря 2023 года
- Шифр диссертационного совета: 24.2.368.01
- Организация: Федерального государственного бюджетного образовательного учреждения высшего образования «Российский государственный университет им. А.Н. Косыгина (Технологии. Дизайн. Искусство)»
- Область знаний: Химия
- Специальность: 2.6.11 - Технология и переработка синтетических и природных полимеров и композитов
- Тип диссертации: Кандидатская
- Оппоненты: Аскадский А.А., Кондратов А.П.
-
Аннотация:
В представленной работе реализованы приоритетные направления развития науки, техники и технологии на стыке полимерной химии и микроэлектроники. Речь идет о разработке полимерных материалов, применяемых в полупроводниковом производстве для обработки кремниевых пластин. Несмотря на то, что полировальные материалы относятся к расходным, применяют их в одной из ключевых операций производства интегральных схем – химико - механической планаризации (ХМП), от качества которой зависит четкость фотолитографии и, как следствие, эффективность и точность работы микроэлектронных приборов и устройств.
- Добавил в систему: Серенко Ольга Анатольевна