ИСТИНА

Диссертация посвящена исследованию механизмов ионного распыления однокомпонентных монокристаллов на примере (001) Ni. Для этого была создана модель 20 атомов поверхности грани (001), в которой принимается во внимание только последняя стадия распыления – эмиссия атомов с поверхности. Полученные результаты сравнивались с результатами, полученными в полномасштабной МД-модели с падением ионов. В работе были рассчитаны распределения фокусированных и перефокусированных распыленных атомов по полярному углу и энергии наблюдения. Были найдены такие телесные углы и значения энергии наблюдения, в которых все распыленные атомы на 100% являются перефокусированными. Были сформулированы условия, при которых перефокусированные атомы можно наблюдать экспериментально. Рассчитаны сдвиги максимумов фокусированных и перефокусированных атомов при изменении параметров мишени.