Теоретическое исследование газовых разрядов, используемых в плазменной микротехнологиидиссертация
-
Автор:
Суетин Николай Владиславович
-
Дата защиты:
13 мая 1993 года
-
Шифр диссертационного совета:
Д 053.05.80
-
Организация:
Московский государственный университет имени М.В.Ломоносова НИИ ядерной физики имени Д.В.Скобельцина
-
Область знаний:
Физика и математика
-
Специальность:
01.04.08 - Физика плазмы
-
Тип диссертации:
Докторская
-
Добавил в систему:
Власова Наталия Андреевна