|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Локальная диагностика объектов микроэлектроники методами томографии и сканирующей микроскопиидиссертация
- Автор: Рау Эдуард Иванович
- Дата защиты: 4 июня 1993 года
- Шифр диссертационного совета: Д 003.77.01
- Организация: ЦКБ уникального приборостроения РАН
- Область знаний: Физика и математика
- Специальность: 01.04.01 - Приборы и методы экспериментальной физики
- Тип диссертации: Докторская
- Добавил в систему: Рау Эдуард Иванович