ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Данная диссертация посвящена проблеме изучения кинетики атомов N и O в плазме соответствующих чистых газов (N2/O2) в очень слабо изученном диапазоне промежуточных давлений (~10-100 Торр). Такие исследования необходимы для разработки новых и оптимизации существующих плазменных источников атомов N и O, являющимися наиболее химически активными компонентами плазмы (радикалами). Эти источники применяются в микроэлектронике для функционализации материалов. Кроме того, полученные здесь результаты позволят строить более достоверные модели плазмы промышленных плазменных реакторов, используемых в микроэлектронике. В данной работе экспериментально верифицируется метод оптической диагностики плазмы (актинометрии) для определения концентраций атомов O и N в плазме in situ. В дальнейшем этот метод в различных модификациях используется также для определения величины скорости потерь атомов в плазме. Кроме того, для атомов N экспериментально была определена константа скорости диссоциации в плазме, что позволило также выявить механизм этого процесса и верифицировать самосогласованную модель разряда. Также с помощью оптических диагностик и аналитических моделей изучались процессы на поверхности диэлектрической (кварцевой) разрядной камеры с участием атомов. Таким образом была определена скорость потерь атомов O в плазме в зависимости от разрядных условий.
№ | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
---|---|---|---|---|---|
1. | Заключение диссертационного совета по диссертации | Zaklyuchenie_DS_Volyinets_20191120_istina.pdf | 538,5 КБ | 26 ноября 2019 | |
2. | Автореферат | Synopsis_Volynets_FINAL.pdf | 1,1 МБ | 10 октября 2019 | |
3. | Полный текст диссертации | PhD_thesis_Volynets_FINAL.pdf | 3,8 МБ | 10 октября 2019 | |
4. | Отзыв официального оппонента | Otzyiv_ofits_oppon_Volyinets_Medvedev_istina.pdf | 6,7 МБ | 12 ноября 2019 | |
5. | Отзыв научного руководителя/консультанта | Otzyiv_nauchn_rukovoditelya_Volyinets_istina.pdf | 2,1 МБ | 10 октября 2019 | |
6. | Сведения о научном руководителе | svedeniya__o_nauchn_rukovoditele_Volyinets_istina.pdf | 526,8 КБ | 10 октября 2019 | |
7. | Решение дисс.совета о приеме/отказе к защите | Protokol_4.pdf | 781,8 КБ | 10 октября 2019 | |
8. | Отзыв официального оппонента | Otzyiv_ofits_oppon_Volyinets_Akishev_istina.pdf | 5,7 МБ | 12 ноября 2019 | |
9. | Отзыв официального оппонента | Otzyiv_ofits_oppon_Volyinets_Lebedev_istina.pdf | 2,8 МБ | 13 ноября 2019 | |
10. | Сведения об официальных оппонентах, включая публикации | svedeniya__ob_ofitsialnyih_opponentah_Volyinets_istina.pdf | 1,5 МБ | 23 октября 2019 |