ИСТИНА

Диссертация посвящена изучению процессов формирования поликристаллических текстурированных алмазных плёнок, получаемых методом химического газофазного осаждения из смеси метана и водорода, активированной разрядом постоянного тока. При помощи селективного термического окисления таких плёнок были выявлены особенности структуры и морфологии кристаллитов, входящих в их состав. На основании полученных данных предлагается модель процесса роста микрокристаллического алмаза в ходе осаждения из газовой фазы. Справедливость допущений, лежащих в основе построенной модели, и её выводов подтверждается соответствием выполненных на её основании компьютерных симуляций и экспериментальных наблюдений. На основании результатов проведённых исследований сделаны выводы относительно особенностей процессов роста кристаллитов, входящих в состав текстурированных плёнок, и механизмов, определяющих структурно-морфологические характеристики таких кристаллитов. В ходе работы были разработаны экспериментальные методики получения алмазных кристаллитов различного типа, а также определены параметры азотно-вакансионных и кремний-вакансионных центров формирующихся в их структуре.