ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Диссертационная работа посвящена исследованию механизмов деградации и травления нанопористых диэлектриков с низкой диэлектрической константой (так называемые low-kдиэлектрики) в высокочастотной (ВЧ) плазме, которые используются в современной микроэлектронике в качестве межслойных диэлектриков. Деградация данных диэлектриков в процессе травления является серьезным препятствием для перехода микроэлектроники к технологии 10 нм и менее. Рассмотрены методы уменьшения деградации данных диэлектриков. Предложен комплексный подход к изучению механизмов деградации и защиты нанопористых диэлектриков, который заключается в экспериментально-теоретическом исследовании как самой плазмы для травления диэлектриков, так и взаимодействия плазмы с диэлектриками. Экспериментальные исследования проводились и в условиях лабораторных установок, где доступно множество плазменных диагностик, и в условиях реальных технологических реакторов и чистых комнат, что отличает работу от имеющейся по данной теме научной литературы, так как данный подход позволил рассмотреть процессы взаимодействия плазмы с диэлектриками на уровне элементарных реакций, сохраняя при этом связь исследований с технологией.
№ | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
---|---|---|---|---|---|
1. | Заключение диссертационного совета по диссертации | Zaklyuchenie_DS_Zotovich.pdf | 1,8 МБ | 26 июня 2018 | |
2. | Отзыв официального оппонента | otzyiv_Aleksandrov.pdf | 255,0 КБ | 13 июня 2018 | |
3. | Отзыв официального оппонента | otzyiv_Amirov.pdf | 788,1 КБ | 13 июня 2018 | |
4. | Отзыв официального оппонента | otzyiv_Filippov.pdf | 1,8 МБ | 13 июня 2018 | |
5. | Автореферат | Avtoreferat_Zotovich.pdf | 3,5 МБ | 11 мая 2018 | |
6. | Отзыв научного руководителя/консультанта | Otzyiv_nauchnogo_rukovoditelya.pdf | 2,5 МБ | 11 мая 2018 | |
7. | Решение дисс.совета о приеме/отказе к защите | Protokol_No_5.pdf | 541,9 КБ | 11 мая 2018 | |
8. | Сведения о научном руководителе | svedeniya_o_nauchnom_rukovoditele.pdf | 1,3 МБ | 11 мая 2018 | |
9. | Сведения об официальных оппонентах, включая публикации | Svedeniya_ob_ofitsialnyih_opponentah.pdf | 1,4 МБ | 11 мая 2018 | |
10. | Полный текст диссертации | Dissertation_Zotovich.pdf | 46,1 МБ | 11 мая 2018 |