Организация, в которой выполнялась работа:
Институт структурной макрокинетики и проблем материаловедения им. А.Г. Мержанова Российской академии наук (ИСМАН)
Ведущая организация:
Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук», г. Черноголовка