|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Изготовление плёночных встречно-штыревых преобразователей для акустоэлектронных нанобиосенсоровкурсовая работа (Бакалавр)
- Научный руководитель: Солдатов Е.С.
- Автор: Мельников А.Е.
- Тип: Бакалавр
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Кафедра: Кафедра физики полупроводников и криоэлектроники
- Год защиты: 2016
- Курс: 2
- Аннотация: В работе решалась задача изготовления металлической пленочной микроструктуры, представляющей собой поверхностный акустоэлектронный встречно-штыревой преобразователь. При этом разработана методика формирования таких микроструктур методами фотолитографии и напыления тонких пленок и изготовлены акустоэлектронные встречно-штыревые преобразователи с шириной зазора между штырьками 5 мкм. Показано отсутствие закороток между ними, что показывает пригодность структур для использования в акустоэлектронике.
- Добавил в систему: Солдатов Евгений Сергеевич