Аннотация:1. Выполнен обзор литературы, посвященной исследованиям взаимодействия сверхкоротких лазерных импульсов с поверхностью твердого тела.
2. Отработана технология получения периодических структур на поверхности кристаллического кремния с помощью фемтосекундного лазерного излучения.
3. С помощью оптического микроскопа получены изображения облученного образца, определен период поверхностных периодических структур, оказавшийся близким к длине волны падающего излучения.
4. Выявлены основные закономерности формирования поверхностных микроструктур под действием фемтосекундного лазерного излучения при различных временах экспозиции. При увеличении времени экспозиции, а соответственно и числа импульсов, период структур уменьшался.