|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Способы изготовления тонкопленочных наноструктуркурсовая работа (Специалист)
- Научный руководитель: Солдатов Е.С.
- Автор: Алентьев Д.В.
- Тип: Специалист
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Кафедра: Лаборатория "Криоэлектроника"
- Год защиты: 2022
- Курс: 2
- Аннотация: Освоен процесс изготовления наноструктур и изготовлены тестовые образцы с шириной нанопровода 50 нм. Получен график зависимости глубины протравленных каналов от времени погружения в кислоту. Получена скорость травления поверхности подложки: v_тр= 3,19 ± 0,27 нм⁄с На графике видно некоторое смещение в нулевой момент времени. Его можно обосновать человеческой реакцией при включении таймера и при вытаскивании образца из кислоты. Так как опыт работы пока не позволяет провести быстрое извлечение образца, на каждом измерении могло происходить накопление систематической ошибки около 1 секунды, что как раз смещает график вверх на 2-4 нм.
- Добавил в систему: Солдатов Евгений Сергеевич