Аннотация:В данной работе были освоены технологии создания планарных молекулярных нанотранзисторов. В ходе исследования были использованы методы магнетронного распыления, плазмохимического травления, фотолитографии и электронно-лучевой литографии с помощью резистов. В результате практической части исследования нами были получены системы подводящих проводов, с которыми проведены эксперименты для проверки их работоспособности и созданы кремниевые нанопровода с золотыми точками для иммобилизации на них полимеразы ДНК.