Аннотация:В работе рассмотрена технология создания сенсора
электрического заряда на основе кремниевого нанопровода.
В ходе работы освоен ряд методов создания наноструктур,
основанных на использовании резистов и тонких пленок, и получены образцы сенсоров с
характерной шириной нанопровода, варьирующейся от 30 до 80 нм.