|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Разработка и изготовление сенсоров электрического заряда на основе нанопроводов из кремниякурсовая работа (Бакалавр)
- Научный руководитель: Солдатов Е.С.
- Автор: А.С. Андреева
- Тип: Бакалавр
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Кафедра: Кафедра физики полупроводников и криоэлектроники
- Год защиты: 2020
- Курс: 2
- Аннотация: В работе рассмотрена технология создания сенсора электрического заряда на основе кремниевого нанопровода. В ходе работы освоен ряд методов создания наноструктур, основанных на использовании резистов и тонких пленок, и получены образцы сенсоров с характерной шириной нанопровода, варьирующейся от 30 до 80 нм.
- Добавил в систему: Солдатов Евгений Сергеевич