|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Способы изготовления молекулярных одноэлектронных транзисторовкурсовая работа (Бакалавр)
- Научный руководитель: Солдатов Е.С.
- Автор: Лялина Анна Максимовна
- Тип: Бакалавр
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Кафедра: Кафедра физики полупроводников и криоэлектроники
- Год защиты: 2018
- Курс: 2
- Аннотация: Целью данной работы являлось измерение скорости травления золота в аргоне на установке «Z-400». Для выполнения этой задачи были изготовлены пленочные образцы, сформированы на них области, защищенные и незащищенные от воздействия разряда в плазме; измерены разницы толщин пленок в этих областях после проведения травления и, зная длительность травления, определено значение скорости травления пленок золота - 2,7±0.2 Å/с .
- Добавил в систему: Солдатов Евгений Сергеевич