Аннотация:В настоящей работе в качестве объекта исследования были выбраны массивы кремниевых нанонитей (КНН). Данные структуры привлекают к себе все больше и больше внимания исследователей благодаря таким своим свойствам, как высокое поглощение излучения в видимом диапазоне (свыше 95%), увеличение эффективности комбинационного рассеяния света и фотолюминесценции, возникновение видимой фотолюминесценции, которые представляются весьма многообещающими для использования ансамблей КНН в оптоэлектронике и фотонике. Применение ансамблей КНН в указанных целях требует детального знания об их структуре и ее взаимосвязи с оптическими свойствами. Целью работы являлось изучение условий формирования ансамблей КНН и получение новых фундаментальных знаний о влиянии условий их формирования на их оптические свойства, в том числе на эффективность процесса комбинационного рассеяния света в них.