Аннотация:Актуальность работы связана с широким применением в настоящее время электронно-зондовых неразрушающих методов исследования микро- и наноструктур, в связи с чем возрастает необходимость точного определения основных характеристик отраженных электронов как для однородных массивных, так и для многослойных структур.