|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Угловое распределение частиц, распылённых из никель-палладиевых сплавовдипломная работа (Специалист)
- Научный руководитель: Черныш В.С.
- Автор: Андреев Е.А.
- Тип: Специалист
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Год защиты: 2011
- Аннотация: Эмиссия атомов твердого тела под действием ионного облучения называется распылением. Это явление играет важную роль в современной науке и технике. Например, в элементном анализе твердых тел или планарной технологии, явление распыления используется для очистки твердых тел от адсорбированных из окружающей среды поверхностных загрязнений. Распыление также используется для послойного удаления слоев в сочетании с поверхностно-чувствительными методами анализа, таких как электронная оже-спектроскопия, рассеяние ионов низких энергий и др. На практике мы имеем дело, как правило, с многокомпонентными мишенями. Однако, даже для одноэлементных мишеней, что является частным случаем распыления многокомпонентной мишени, до сих пор не существует теории, адекватно описывающей наблюдаемые в эксперименте закономерности. Недавно в нашей лаборатории было изучено распыление сплавов NiPd разного состава при нормальном падении пучка первичных ионов. Было обнаружено, что радиационно-индуцированная гибсовская сегрегация (РИГС) оказывает сильное влияние на угловые распределения распыленных вдоль нормали к поверхности образца компонентов. В настоящей работе была поставлена задача изучить распыление сплавов NixPdy при скользящем падении пучкабомбардирующих ионов. Известно, что угловые распределения содержат богатую информацию как о механизмах распыления, так и составе облучаемой ионами поверхности. В работе представлены результаты исследования угловых распределений компонентов сплавов Ni5Pd, NiPd и NiPd5 при бомбардировке их поверхности ионами He+ c энергией 10 кэВ, падающих под углом α = 60 градусов от нормали к поверхности. Отметим, что такая информация необходима как для развития теории распыления, так и для многих практических приложений, поскольку никель-палладивые сплавы широко применяются в медицине, используются как катализаторы в химических процессах и т.д.
- Добавил в систему: Черныш Владимир Савельевич