Аннотация:Распыление – одно из множества явлений, наблюдающихся при взаимодействии потока частиц с поверхностью среды. Заключается в том, что падающие частицы в столкновениях передают атомам среды энергию, за счет которой последние могут преодолеть силы, удерживающие их в твердом теле, и покинуть его, т.е. распылиться.
Распыление представляет большой интерес для современной науки и техники. Например, оно используется для изучения элементного состава и кристаллической структуры мишени, для очистки и шлифовки поверхностей, для послойного удаления вещества мишени при использовании других поверхностно-чувствительных методов исследования состава и структуры поверхности.
В настоящее время распыление уже достаточно хорошо изучено, как экспериментально, так и теоретически. Основной теорией для описания процесса была и остается линейная каскадная теория Зигмунда, которая, с учетом всех последующих модификаций, дает надкосинусное угловое распределение частиц.
Однако, все еще существуют эксперименты, результаты которых данная теория объяснить не может, например, смена преимущественно распыляемого элемента в двухкомпонентной мишени при смене типа падающих ионов с более тяжелых на более легкие (Ar,Ne,He).
В упомянутой работе, был предложен механизм распыления обратнорассеянными ионами. Отметим, что существуют все основания, оправдывающие объяснение наблюдавшихся в работе эффектов в случае бомбардировки сплава легкими ионами, поскольку сечение таких ионов с атомами мишени также как и неупругие потери относительно малы.
Известно, что сечение взаимодействия частиц определяются энергией их относительного движения. Поэтому основной целью данной работы является проверка этого механизма и возможности наблюдать это же явление и для более тяжелых ионов. при энергиях, достаточно больших, чтобы обусловить сечение рассеяния, сравнимое с сечением для атома гелия в работе.