|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Кремниевый нанопровод как основа наномеханического резонаторадипломная работа (Бакалавр)
- Научный руководитель: Крупенин В.А.
- Автор: Дорофеев А.А.
- Тип: Бакалавр
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Год защиты: 2017
- Аннотация: Дипломная работа Дорофеева А.А. посвящена экспериментальному и теоретическому исследованию наноэлектромеханической системы (НЭМС) на основе кремниевого нанопровода с целью разработки на ее основе сверхчувствительных сенсоров массы, силы, смещения для исследования объектов с размерами вплоть до атомарного. В результате проведенных исследований разработана технология изготовления кремниевых НЭМС из кремния на изоляторе (КНИ), изготовлены и изучены экспериментальные структуры, проведено моделирование их работы. Полученные результаты будут очень полезны при разработке на основе продемонстрированных кремниевых НЭМС сверхчувствительных сенсоров массы, силы, смещения.
- Добавил в систему: Крупенин Владимир Александрович