Аннотация:В данной дипломной работе проведены экспериментальные исследования возможности формирования нанозазоров в тонких металлических пленках методом электромиграции в процессе которых были получены следующие основные результаты:
1. Разработан и реализован технологический маршрут изготовления нанозазоров между металлическими пленками методом электромиграции атомов металла. Изготовлены заготовки для формирования нанозазоров путем электромиграции с характерным масштабом деталей ~ 100 нм.
2. Разработана методика измерения электрических характеристик сверхвысокоомных объектов (R > 1 ГОм).
3. Изготовлена установка и компьютерная программа для измерения электрических характеристик сверхвысокоомных объектов в широком диапазоне температур (4.2 – 300 К).
4. Измерены предельные характеристики этой установки: уровень шума 20 фА/ , минимальный ток 50 фА при напряжении 2 В, следовательно, максимальное сопротивление, которое может быть измерено, равно примерно 40 TОм.
5. Разработана методика проведения управляемого компьютером процесса разрыва тонких металлических пленок.
6. Изготовлены нанозазоры в тонких пленках золота методом электромиграции и измерены их следующие геометрические и электрические характеристики: ширина зазора составляет примерно 30 нм, сопротивление 50 ГОм.