|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Формирование нанозазоров между металлическими пленочными электродамидипломная работа (Специалист)
- Научный руководитель: Солдатов Е.С.
- Автор: Пестерева М.Б.
- Тип: Специалист
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Год защиты: 2005
- Аннотация: В данной дипломной работе проведены экспериментальные исследования возможности формирования нанозазоров в тонких металлических пленках методом электромиграции в процессе которых были получены следующие основные результаты: 1. Разработан и реализован технологический маршрут изготовления нанозазоров между металлическими пленками методом электромиграции атомов металла. Изготовлены заготовки для формирования нанозазоров путем электромиграции с характерным масштабом деталей ~ 100 нм. 2. Разработана методика измерения электрических характеристик сверхвысокоомных объектов (R > 1 ГОм). 3. Изготовлена установка и компьютерная программа для измерения электрических характеристик сверхвысокоомных объектов в широком диапазоне температур (4.2 – 300 К). 4. Измерены предельные характеристики этой установки: уровень шума 20 фА/ , минимальный ток 50 фА при напряжении 2 В, следовательно, максимальное сопротивление, которое может быть измерено, равно примерно 40 TОм. 5. Разработана методика проведения управляемого компьютером процесса разрыва тонких металлических пленок. 6. Изготовлены нанозазоры в тонких пленках золота методом электромиграции и измерены их следующие геометрические и электрические характеристики: ширина зазора составляет примерно 30 нм, сопротивление 50 ГОм.
- Добавил в систему: Солдатов Евгений Сергеевич