Аннотация:Проведено детальное исследование процессов образования нанорельефа поверхности полупроводников кремния и германия под воздействием ионного облучения поверхности, измерены геометрические характеристики этого нанорельефа, проведено исследование влияния на эти характеристики параметров ионного пучка, таких как доза облучения, энергия ионов и род ионов. Основным достоинством работы и полученных результатов является проведение комплексного экспериментального исследования явления образования нанорельефа при различных параметрах процесса, что позволило определить роль каждого параметра в формировании вида проверхности. Проведена трактовка результатов и построена качественная модель процесса.