Аннотация:В данной дипломной работе проведены экспериментальные исследования возможности создания планарной системы электродов с зазором величиной порядка единиц нанометров с помощью электрохимического осаждения платины на золотые электроды-заготовки, полученные традиционной электронно-лучевой литографией, в процессе которых были получены следующие результаты:
1. Разработана и реализована методика изготовления нанозазоров между тонкопленочными электродами путем проведения электрохимического осаждения платины на пленки золота, включая создание установки и программного обеспечения для контроля над процессом.
2. С помощью электрохимического осаждения созданы образцы с зазорами между электродами, находящимися за пределами разрешения используемого электронного микроскопа (10-15 нм).
3. Путем подбора параметров осаждения достигнута гомогенность осаждения пленки платины. Концентрация электролита составляет 0.5 ммоль/л, потенциал осаждения – 0.6 В, амплитуда активационных импульсов 1.4 В, длительность – 10 мс, время подачи импульсов - 5 с.
4. Проведены измерения электрических свойств образцов, сняты вольтамперные характеристики. Сопротивление образцов с зазорами, включая сопротивление подводящих электродов и контактных площадок, составило от 10 МОм до единиц ТОм. Вольтамперные характеристики показывают неметаллический тип проводимости.
5. Проведено сравнение полученных экспериментально вольтамперных характеристик с теоретическими моделями протекания туннельного тока. Сопоставление показало, что образцы проявляют туннельный тип проводимости. На основе этого сопоставления получена оценка величины изготовленных зазоров, составляющая 2-3 нм.
Таким образом, была впервые показана применимость метода электрохимического осаждения платины на золотые электроды для создания наноэлектродов молекулярного транзистора с зазорами 2-3 нм.