|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Разработка методики изготовления молекулярного транзистора с «подвешенными» электродами.дипломная работа (Специалист)
- Научный руководитель: Солдатов Е.С.
- Автор: Масленников В.А.
- Тип: Специалист
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Год защиты: 2007
- Аннотация: В данной дипломной работе были проведены исследования применимости метода напыления дополнительного металла на электроды-заготовки, полученные методами электронно-лучевой литографии, с целью сужения зазоров, а также изготовлены образцы с зазорами шириной менее 10 нм. В процессе исследований были получены следующие результаты: • Предложена и реализована модификация метода «допыления» подвешенных электродов для создания нанозазоров между тонкопленочными электродами и экспериментально доказана применимость этой модификации для получения нанозазоров менее 20 нм. • Разработана методика создания специализированных заготовок с шириной зазора порядка 100 нм. • Разработана методика обеспечения ключевого свойства электродов в исследуемом способе: нависания их над подложкой. • Определена величина удельного уменьшения ширины зазора (в единицах толщины допыленной пленки): при «допылении» каждых 100 нм пленки ширина зазора уменьшается на 70±20 нм. • Экспериментально показана возможность реализации разрыва закороченного методом «допыления» зазора путем использования эффекта электромиграции атомов металла. Совмещением двух методов создан зазор, качественная оценка ширины этого зазора дает значение менее 10 нм.
- Добавил в систему: Солдатов Евгений Сергеевич