Создание нанозазоров между металлическими тонкопленочными электродами методом электромиграции с применением атомно-силового микроскопадипломная работа (Специалист)
Аннотация:В данной работе была проанализирована возможность использования атомно-силового микроскопа для формирования заготовок наноэлектродов молекулярных систем, пригодных для создания нанозазоров методом электромиграции. При этом получены основные результаты:
- Разработана топология, методика изготовления и изготовлены тонкоплёночные (порядка 100 нм) наноструктуры с размером характерных деталей порядка 200 нм.
- Предложен способ формирования специальных заготовок для проведения процесса электромиграции путём использования АСМ
- Разработана методика создания тонкого (~10 нм) и короткого (~30-60 нм) мостика между толстыми (толщиной ~80 нм) электродами заготовки при помощи АСМ
- Определены оптимальные режимы работы АСМ для получения наиболее благоприятных для проведения электромиграции значений длины (~30 нм) и толщины (~10 нм) мостика.