|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Создание нанозазоров между металлическими тонкопленочными электродами методом электромиграции с применением атомно-силового микроскопадипломная работа (Специалист)
- Научный руководитель: Солдатов Е.С.
- Автор: Суханов И.С.
- Тип: Специалист
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Год защиты: 2008
- Аннотация: В данной работе была проанализирована возможность использования атомно-силового микроскопа для формирования заготовок наноэлектродов молекулярных систем, пригодных для создания нанозазоров методом электромиграции. При этом получены основные результаты: - Разработана топология, методика изготовления и изготовлены тонкоплёночные (порядка 100 нм) наноструктуры с размером характерных деталей порядка 200 нм. - Предложен способ формирования специальных заготовок для проведения процесса электромиграции путём использования АСМ - Разработана методика создания тонкого (~10 нм) и короткого (~30-60 нм) мостика между толстыми (толщиной ~80 нм) электродами заготовки при помощи АСМ - Определены оптимальные режимы работы АСМ для получения наиболее благоприятных для проведения электромиграции значений длины (~30 нм) и толщины (~10 нм) мостика.
- Добавил в систему: Солдатов Евгений Сергеевич