|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Разработка методики изготовления молекулярного транзистора.дипломная работа (Специалист)
- Научный руководитель: Солдатов Е.С.
- Автор: Степанов А.С.
- Тип: Специалист
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Год защиты: 2009
- Аннотация: В данной дипломной работе была, в основном, решена задача создания экспериментальной базы для формирования и исследования характеристик планарных молекулярных транзисторов. В ходе этой работы были получены следующие основные результаты: 1) Разработана технология изготовления тонкопленочных заготовок для проведения процесса электормиграции с применением двухслойной полимерной маски. 2) Определены оптимальные параметры всех процессов технологического маршрута, обеспечивающие необходимые свойства заготовок: малую ширину (менее 200 нм ) тонкопленочных мостиков и достаточное нависание (30 - 50 нм) верхнего слоя резиста. 3) Спроектирован и изготовлен измерительный зонд для проведения процесса электромиграции. 4) Разработан метод получения гладкой (с неровностью ~ 0.2 нм на площадках с характерными размерами до 50 - 100 нм) поверхности золотых пленок, пригодных для визуализации и контроля результатов проведения процесса самосборки молекулярных объектов на поверхности, основанный на аккуратном отжиге пленки в пламени газовой горелки.
- Добавил в систему: Солдатов Евгений Сергеевич