|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Разработка методики изготовления многослойной интегральной системы электродов молекулярного транзисторадипломная работа (Специалист)
- Научный руководитель: Солдатов Е.С.
- Автор: Кормышев Д.В.
- Тип: Специалист
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Год защиты: 2011
- Аннотация: Разработана технология изготовления многослойной литографической заготовки для системы электродов с необходимой точностью совмещения масок, определенным выбором материалов проводников и изоляторов и двухслойной маской. Отработана программно управляемая технология проведения электромиграции для получения нанозазоров и получены зазоры порядка 5 нм. Исследованием полученных зазоров и сравнением с теоретической моделью туннельного барьера показана пригодность данного метода для создания модели активного ключевого элемента электроники нанометровых размеров.
- Добавил в систему: Солдатов Евгений Сергеевич