Аннотация:В данной работе разработана и реализована конфигурация электродов молекулярного одноэлектронного транзистора с «утопленным» в подложку затвором и, на этой основе, изготовлен прототип молекулярного одноэлектронного транзистора. При этом:
Разработана топология системы электродов для формирования на кремниевой подложке молекулярного одноэлектронного транзистора с «утопленными» в подложку электродом управления и макросистемой подводящих к транзистору проводов.
Определены наиболее пригодные материалы и параметры слоев для формирования каждого слоя многослойной структуры такого транзистора.
Разработаны новые методики формирования молекулярных одноэлектронных транзисторов с «утопленным» в подложку затвором, изоляции затворов слоем Al2O3 толщиной 40 нм, защитной изоляции всего образца слоем диоксида кремния и выявлены наиболее надежные способы реализации этих методик.
На основе молекулы аурофильного производного терпиридина и с использованием эффекта электромиграции атомов разработан и изготовлен прототип молекулярного одноэлектронного транзистора с такой конфигурацией электродов, предназначенный к использованию в качестве сенсорного элемента в практических зарядовых сенсорах.
Тестирование параметров и характеристик получившихся образцов при
Т ~ 300 К показало соответствие полученных структурных параметров изготовленной наносистемы заданным при разработке топологии, успешную реализацию встраивания молекул между транспортными электродами транзисторов и образование в итоге молекулярных транзисторов с видом характеристик, согласующимся с теорией одноэлектроники.