Организация, в которой проходила защита:МГУ имени М.В. Ломоносова,
Физический факультет, кафедра физики полупроводников и криоэлектроники
Год защиты:2020
Аннотация:Бакалаврская работа посвящена разработке методов изготовления высокодобротного наноэлектромеханического резонанса на основе нанопровода из нитрида кремния. Тема работы является очень актуальной, поскольку в последнее время происходит бурное развитие электронмеханических систем, как на микро, так и на нано уровне. К примерам МЭМС и НЭМС систем можно отнести акселерометры, гироскопы, чувствительные датчики, микро- и нанопереключатели и другие. Поиск новых материалов является очень важной задачей, позволяющей создавать наноэлектромеханические сенсоры с уникальными параметрами и широким спектром применения.
Работа состоит из введения и трех глав. В конце работы приводятся выводы, заключение и список литературы. Во введении автор обосновывает актуальность работы и формулирует цели и задачи исследования. Выбранный материал для изготовления наноэлектромеханического резонатора обладает высокой химической и структурной стабильностью, что в конечном счете позволяет добиться большей механической добротности изготавливаемой структуры.
В первой главе приводится литературный обзор. Автор делает обзор основных областей применения наноэлектромеханических систем. В следующих главах приводится описание технологии изготовления устройства, описываются методики измерения характеристик и расчета основных параметров резонатора. В конце работы обсуждаются полученные результаты и делаются выводы.