Аннотация:Актуальность темы данной работы обусловлена традиционным интересом к процессам взаимодействия электромагнитного излучения с поверхностью полупроводников. До настоящего времени не до конца выяснен механизм воздействия на поверхность сильно сфокусированного лазерного пучка с энергией ниже порога плавления. При этом сказывается влияние локальных деформаций на характер дефектообразования в приповерхностном слое.