Аннотация:В работе изучено распыление мишени германия ионами аргона с энергией 50 и 100 кэВ. Для проведения экспериментов на базе 500 кэВного ускорителя создан экспериментальный тракт. Установлено, что распределение распыленных атомов германия является надкосинусным, не совпадает со значениями, полученными по формуле Зигмунда, а показатель степени возрастает с ростом энергии. Предложен механизм распыления.