Аннотация:Выпускная квалификационная работа посвящена теоретическому исследованию кинетики ионов и активных нейтральных частиц в плазменных индукционных реакторах и построению численной модели для расчета характеристик низкотемпературной плазмы.
В результате работы была построена и протестирована модель индукционного плазменного разряда в диффузионно-дрейфовом приближении. Проведены расчеты для разряда в аргоне для трех различных геометрий плазменных установок. Результаты данных расчетов согласуются как с экспериментальными значениями, так и с другими моделями.