Аннотация:В данной работе предложен двухстадийный механизм образования упорядоченных поверхностных структур адатомов в процессе лазерно-контролируемой молекулярно-лучевой эпитаксии: кооперативная нуклеация ансамбля наночастиц в результате развития дефектно-деформационной (ДД) неустойчивости с последующим ростом наночастиц на упорядоченной периодической нуклеационной затравке. Реализован компьютерный алгоритм решения оригинального дефектно-деформационного уравнения Курамото-Сивашинского (ДДКС) для концентрации адатомов, описывающего кооперативную нуклеацию ансамбля наночастиц, и классического уравнения Кардара-Паризи-Жанга (КПЖ), описывающего их последующий рост. Проведены численные расчеты для двух вариантов образующихся структур поверхностного рельефа (сверхкристаллов) – ансамблей наночастиц и сотовых структур пор, при отрицательном и положительном знаке деформационного потенциала адатома соответственно. В численных экспериментах обнаружены нелинейные эффекты: генерация дефектно-деформационных пространственных субгармоник, вторых, разностных и суммарных гармоник. Показана принципиальная важность нелинейных эффектов для существования стационарных решений для концентрации поверхностных дефектов. Предложен вариант стохастического ДДКС уравнения, обнаружено, что добавление в него стохастического источника приводит к селекции фундаментальных, вторых и суммарных гармоник в фурье-спектре, а также к очищению образующихся ансамблей от точечных структурных сверхдефектов в решетке сверхкристалла