|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Аксиальное распределение параметров плазмы в двухкамерном индуктивном высокочастотном источнике плазмы, помещенном в внешнее магнитное поледипломная работа (Специалист)
- Научный руководитель: Павлов В.Б.
- Автор: Вавулов О. Ю.
- Тип: Специалист
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Год защиты: 2015
- Аннотация: В дипломной работе выполнены экспериментальные исследования эффективности поглощения ВЧ мощности плазмой, распределения концентрации электронов вдоль оси двухкамерного индуктивного ВЧ источника плазмы и зависимость распределения параметров плазмы от давления, величины внешнего магнитного поля, рабочей частоты генератора и его мощности. Оценён вклад ёмкостной составляющей разряда.
- Добавил в систему: Павлов Владимир Борисович