Исследование новых возможностей, сфер применения и свойств негативного электронного резиста на основе водород- силсесквиоксана (HSQ)дипломная работа (Магистр)
Организация, в которой проходила защита:
Московский физико-технический институт (государственный университет), факультет физической и квантовой электроники, кафедра наноэлектроники и квантовых компьютеров