Аннотация:Дипломная работа посвящена изучению вклада доменной структуры на процесс зарядки сегнетоэлектрической мишени электронными пучками с энергией от 0,1 до 30 кэВ. Экспериментально исследовались характеристики процесса зарядки сегнетоэлектриков, как класса диэлектриков, в сканирующем электронном микроскопе, снабженном тороидальным спектрометром. Оригинальная экспериментальная установка, позволяет измерять несколько характеристик процесса зарядки одновременно, что дает возможность получать оригинальные результаты. Установлено, что динамика зарядки сегнетоэлектриков аналогична зарядке диэлектриков (также существуют две фазы процесса кратковременная и долговременная), доменная структура (исследуемых образцов) вносит максимальный вклад при низкой энергии облучающих электронов в начальной стадии процесса зарядки.