Описание:Спецкурс знакомит студентов 4 курса с понятиями чистого помещение, методами отчистки рабочих материалов, основными принципами вакуумирования, а также с основными процессами классической тонкоплёночной технологии, включая магнетронное напыление и реактивно-ионное травление.