Описание:В курсе рассматриваются методы диагностики низкотемпературной плазмы: зонд Ленгмюра, Hairpin-зонд, анализатор энергии ионов, масс-спектрометрия, лазерная спектроскопия, спектроскопия поглощения, актинометрия. Приведены границы применимости методов и точности измерения. Демонстрируются результаты экспериментальных измерений.