Чистка диагностических зеркал в высокочастотном емкостном разряде в благородном газедоклад на конференции
-
Авторы:
Дмитриев А.М.,
Марциновский И.А.,
Баженов А.Н.,
Букреев И.М.,
Вваршавчик Л.А.,
Коваль А.Н.,
Курскиев Г.С.,
Литвинов А.Е.,
Масюкевич С.В.,
Мухин Е.Е.,
Раздобарин А.Г.,
Самсонов Д.С.,
Соловей В.А.,
Солоха В.В.,
Толстяков С.Ю.,
Терещенко И.Б.,
Городецкий А.Е.,
Буховец В.Л.,
Маркин А.В.,
Захаров А.П.,
Залавутдинов Р.Х.,
Чернаков Ал П.,
Чернаков Ан П.,
Чернаков П.В.,
Смирнов А.С.,
Черноизюмская Т.В.,
Кобелев А.А.,
Бабинов Н.А.
-
Международная Конференция :
XXI конференция "Взаимодействие плазмы с поверхностью"
-
Даты проведения конференции:
24-25 января 2018
-
Дата доклада:
25 января 2018
-
Тип доклада:
Устный
-
Докладчик:
Дмитриев А.М.
-
Место проведения:
Москва, Россия
-
Добавил в систему:
Залавутдинов Ринад Харисович