|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Упругое рассеяние атома кислорода на атоме кремния в диапазоне энергий 0.01-100 эВдоклад на конференции
- Авторы: Сычева А.А., Рахимова Т.В., Палов А.П.
- Международная Конференция : XLI Международная Звенигородская конференция по физике плазмы и управляемому термоядерному синтезу, 10-14 февраля 2014, г. Звенигород
- Даты проведения конференции: 10-14 февраля 2014
- Дата доклада: 10 февраля 2014
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: не указан
- Место проведения: г. Звенигород, Russia
-
Аннотация доклада:
В сфере нанотехнологий знание процессов рассеяния для системы Si и O в широком диапазоне энергий могут быть использованы в задаче плазменного осаждения SiO2 пленок и при взаимодействии атомов кислорода в режиме травления резиста с новыми диэлектрическими SiOHC материалами с низкой константой диэлектрической проницаемости. Первым этапом вычислений является получение потенциала взаимодействия между Si и O из первых принципов квантовой механики. Далее проводился расчет фазовых сдвигов на основе решения уравнения Шредингера с последующим анализом асимптотического поведения волновой функции. По полученным сдвигам фаз рассчитывались дифференциальное, интегральное и транспортное сечения рассеяния.
- Добавил в систему: Сычева Анастасия Александровна