|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Получение однородной плазмы перед подложкой при использовании подготовительного ВЧЕ разряда доклад на конференции
- Авторы: Рябый В.А., Якунин В.Г., Савинов В.П.
- Международная Конференция : Материалы Междунар. конф. "Физика ВЧ разрядов"
- Даты проведения конференции: 2011
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: Рябый В.А.
- Место проведения: г. Казань
- Добавил в систему: Якунин Валерий Георгиевич